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气路泄露排查从气源泄露和内部泄露下手
气源泄漏检查:
1.先【xiān】切断主机、温度流量【liàng】控制器的电源。打开气瓶上的主阀【fá】并将气源【yuán】分【fèn】压调节到0.4MPa。
2.将各气源【yuán】的两级【jí】压力调节器【qì】的分压控【kòng】制【zhì】手【shǒu】柄返回原位,监测分压表,10分钟之内压力【lì】应【yīng】没有明【míng】显下降【jiàng】。如【rú】果【guǒ】有泄漏,应仔细检查各气【qì】路管线的接头,并找出泄漏的位置。泄【xiè】漏的接头只要上紧到足以阻【zǔ】止泄漏【lòu】即【jí】可。过紧会损坏套圈和接头。
注意:检测气路是否泄【xiè】漏时,应注【zhù】意不要弄潮湿任【rèn】何电气或电【diàn】子【zǐ】部件,否则会严重损【sǔn】坏【huài】部【bù】件。
内部泄漏检查:
系【xì】统内【nèi】部气体连接管线【xiàn】在仪器发【fā】货【huò】前都作过【guò】仔细的检查和泄漏试验【yàn】。如果系统未作任何升级改动或【huò】维修【xiū】,一般不【bú】需检查泄【xiè】漏。用户在安装气路系【xì】统的有关【guān】部件(如石英裂解管)时,必须严格按【àn】照本手【shǒu】册【cè】中有关【guān】章节规【guī】定的操【cāo】作步骤进行【háng】。只要正确安装这些部件,一【yī】般不必检查泄漏。